【GF技术快讯】比发丝细3倍!筋宽仅0.017mm的微米级测针如何制造
对于半导体检测与生物医疗技术而言,测针是必不可少的超高性能探测组件。测针虽小,技术挑战却不小。在微米级制造领域,任何一个细微缺陷,都可能影响测针的接触性能和检测的灵敏度及稳定性。但百微米以内的精密探针制造,却长期受限于以下难题:
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尺寸极小,微结构加工难度高,传统精密冲压与机械加工难以实现
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高速冲压精度受限,接触面粗糙,材料易变形,侧壁质量不合格及毛刺等问题
常规激光切割可以部分解决上述问题,但在加工精度更高尺寸更小的测针时则会有切割边缘有锥度,筋宽一致性不好,热影响材料形变,特征不均匀缺失等问题。那么,如何才能打造出高精度、高一致性、不变形、无毛刺的高品质测针呢?如何兼顾精度、批量稳定性与材料适应性?
GF加工方案用ML-5飞秒激光设备突破微细测针制造的技术壁垒,成功实现0.017mm极限宽度、±2μm高精度、无锥度切割,交出了一份完美答卷:
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0.1-0.2mm材料厚度适配,实现无锥度切割
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精度±2μm,最小筋宽 0.017mm,细而不断,边缘质量优异
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超低热影响,无微裂纹、无变形,无毛刺
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批量加工稳定性强,无论加工多少支测针,品质始终如一
ML-5飞秒激光设备是如何做到的?
无热影响,材料无变形,精度提升一个量级!
飞秒激光脉冲持续时间短至万亿分之一秒,能量作用时间远低于材料热扩散时间,直接通过“光剥离”移除材料,而非传统激光依赖的热熔化过程。这一技术突破带来的优势显而易见:
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无热损伤,不产生微裂纹、变形或氧化
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μm级精度轻松实现,尺寸稳定性更强
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适用于超薄、超硬或高脆性材料,加工自由度大幅提升
三维精密控制,极限细节轻松实现
ML-5采用高精度光学组件与多轴数控技术,精准控制光束焦点位置及能量分布,真正实现三维微结构加工,能够轻松应对:
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超细测针的导电接触面高精度加工
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复杂异形结构的高稳定性加工
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超微探测组件的精细轮廓切割
兼容金属、陶瓷、高分子材料,测针设计不再受限
无论是不锈钢、钨合金,还是陶瓷、聚合物,ML-5飞秒激光设备均可实现高质量加工,突破传统工艺对材料硬度和脆性的限制,为多功能异形测针设计提供更大自由度。
在半导体检测、生物医疗等精密探测领域,测针的制造精度直接决定测量设备的性能。GF的ML-5飞秒激光设备,结合无锥度切割技术与极限微米级精度控制,正在以颠覆性的技术优势,重新定义这一核心工艺。
转自:GF加工方案公众号